小編帶你快速走進(jìn)精密位移平臺(tái)技術(shù)百科

添加時(shí)間：2020-6-9 8:38:19 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

1.精密位移平臺(tái)基本定義
近年來(lái)，隨著微電子技術(shù)，宇航，生物工程等學(xué)科的迅速發(fā)展，正式進(jìn)入了“亞微米-納米”時(shí)代。在電子，光學(xué)，機(jī)械制造等眾多技術(shù)領(lǐng)域中，迫切需要高精度，高分辨率，高可靠性的微定位系統(tǒng)，用以直接工作或配合其他儀器設(shè)備完成高精度的研究和使用。微定位技術(shù)在微機(jī)電系統(tǒng)，納米制造技術(shù)，微電子及納米電子技術(shù)，納米生物工程等眾多高科技領(lǐng)域?qū)l(fā)揮越來(lái)越重要的作用。
微納米加工技術(shù)的發(fā)展,離不開精密工作臺(tái)技術(shù)的發(fā)展與進(jìn)步。所有納米操作及超級(jí)精密制造的研究及應(yīng)用領(lǐng)域的進(jìn)一步發(fā)展，都需要依靠高精度的定位平臺(tái)和更高的控制精度。精密工作臺(tái)是集精密位置檢測(cè)技術(shù)、驅(qū)動(dòng)技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、控制技術(shù)等多項(xiàng)技術(shù)為一體的有機(jī)綜合體。


2.精密位移平臺(tái)分類
精密位移工作臺(tái)系統(tǒng)包括微位移機(jī)構(gòu)，檢測(cè)系統(tǒng)，控制系統(tǒng)三部分，微位移機(jī)構(gòu)由微位移器和導(dǎo)軌組成。按其形式可分為以下五類：
（1）平行彈性導(dǎo)軌，機(jī)械式，電磁、壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動(dòng)。
（2）柔性支承，壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動(dòng)。
（3）滾動(dòng)導(dǎo)軌，壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動(dòng)。
（4）滑動(dòng)導(dǎo)軌，機(jī)械式驅(qū)動(dòng)。
（5）氣浮導(dǎo)軌，伺服電機(jī)或直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)。